Verfahren und Vorrichtung zur Positionsermittlung, Mustererzeugungsvorrichtung und zu ermittelnder Gegenstand

EP1921506 Art A3 28. Juli 2010

Anmelder: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd., Dainippon Screen Mfg., Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1921506
Aktenzeichen: EP07119916
Anmeldetag: 2. November 2007
Veröffentlichung: 28. Juli 2010
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Dainippon Screen Mfg., Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Dainippon Screen Mfg

Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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