Verfahren zur Entdeckung von Anomalien in einem Fluidzufuhrsystem über eine Flussratensteuerungsvorrichtung mit Drucksensor
EP1921530
Art A1
14. Mai 2008
Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1921530
- Aktenzeichen
- EP06783162
- Anmeldetag
- 28. August 2006
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D7/06G01F1/00G01F1/42G01M3/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fujikin Incorporated
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Murgitroyd wurde 1975 in Glasgow als Einzelpraxis gegründet, ging 2001 an die Londoner Börse und zählt zu Europas am schnellsten wachsenden IP-Kanzleien, mit Standorten von Großbritannien und Irland bis München, Mailand, Helsinki und dem Silicon Valley.
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