Verfahren zur Bestimmung der Intensitätsverteilung in der Bildebene einer Projektionsbelichtungsanlage

EP1922587 Art B1 5. August 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1922587
Aktenzeichen: EP06777152
Anmeldetag: 2. September 2006
Veröffentlichung: 5. August 2015
Erteilung: 5. August 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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