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EP1928764 Art B1 2. November 2011

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1928764
Aktenzeichen
EP06815463
Anmeldetag
27. September 2006
Veröffentlichung
2. November 2011
Erteilung
2. November 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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