Chemisch-Mechanische Polierzusammensetzung mit Hohem Durchsatz zur Metallfilm-Planarisierung

EP1929512 Art A2 11. Juni 2008

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1929512
Aktenzeichen
EP06789429
Anmeldetag
7. August 2006
Veröffentlichung
11. Juni 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/302H01L21/463H01L21/461
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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