Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstrats

EP1930486 Art A1 11. Juni 2008

Anmelder: Tohoku Techno Arch Co., Ltd., Furukawa Co., Ltd., Mitsubishi Chemical Corporation, DOWA Holdings Co., Ltd, EpiValley Co., Ltd., Wavesquare Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1930486
Aktenzeichen
EP06796748
Anmeldetag
24. August 2006
Veröffentlichung
11. Juni 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205H01L21/338H01L33/00H01S5/323H01L21/02H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Tohoku Techno Arch Co., Ltd.
Furukawa Co., Ltd.
Mitsubishi Chemical Corporation
DOWA Holdings Co., Ltd
EpiValley Co., Ltd.
Wavesquare Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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