Thermisches Ätzverfahren zur Reinigung von CVD-Kammern
EP1932941
Art A1
18. Juni 2008
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1932941
- Aktenzeichen
- EP07122918
- Anmeldetag
- 11. Dezember 2007
- Veröffentlichung
- 18. Juni 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44B08B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
1.683 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
219
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte