Thermisches Ätzverfahren zur Reinigung von CVD-Kammern

EP1932941 Art A1 18. Juni 2008

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1932941
Aktenzeichen
EP07122918
Anmeldetag
11. Dezember 2007
Veröffentlichung
18. Juni 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44B08B7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Air Products and Chemicals, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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