Recycling eines großen Photomaskensubstrats

EP1933204 Art B1 13. Februar 2019

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1933204
Aktenzeichen
EP07254871
Anmeldetag
14. Dezember 2007
Veröffentlichung
13. Februar 2019
Erteilung
13. Februar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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