Verfahren zum Verarbeiten von Halbleiterwafern mit Siliciumcarbid-Leistungsbauelementen Darauf

EP1935007 Art B1 22. Februar 2023

Anmelder: Wolfspeed, Inc., CREE, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1935007
Aktenzeichen
EP06803439
Anmeldetag
12. September 2006
Veröffentlichung
22. Februar 2023
Erteilung
22. Februar 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/04H01L21/304H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Wolfspeed, Inc.
CREE, INC.
Land
🇺🇸 USA
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