Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren
EP1936671
Art A1
25. Juni 2008
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1936671
- Aktenzeichen
- EP06811445
- Anmeldetag
- 6. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 25. Juni 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205C23C16/455H01L21/31C23C16/458F27B17/00H01L21/67H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.253 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
39.124
Patente gesamt
25
Patentanwälte
2
Standorte