Vorrichtung zur TDI-Erkennung, Durchführungsanlage, Elektronenstrahlgerät mit dieser Vorrichtung und Anlage und Herstellungsverfahren für Halbleitervorrichtungen mit diesem Elektronenstrahlgerät
EP1936953
Art A3
30. Dezember 2009
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1936953
- Aktenzeichen
- EP08007124
- Anmeldetag
- 14. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 30. Dezember 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H04N3/15H01J37/26G01N21/956H01R13/00H01J37/22H01J37/244H01R13/24H04N5/225
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Kanzlei
Wagner & Geyer
München, Deutschland
Wagner & Geyer wurde 1972 von Karl H. Wagner in München gegründet und fusionierte 1983 mit Dr. Ulrich F. Geyer. Neben Patenten begleitet die Kanzlei Designs, Gebrauchsmuster und Marken im internationalen Partnernetzwerk und berät traditionell eng mit japanischen Mandanten auf Deutsch, Englisch und Japanisch.
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