Artikellade-/-Entladeverfahren und Artikellade-/-Entladeeinrichtung, Belichtungsverfahren und Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Bauelementeherstellung

EP1939930 Art B1 21. September 2011

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1939930
Aktenzeichen: EP06811959
Anmeldetag: 18. Oktober 2006
Veröffentlichung: 21. September 2011
Erteilung: 21. September 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00H01L21/67G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von