Verbundstoffstruktur für die Mikrolithografie und Optische Anordnung

EP1940748 Art B1 3. Oktober 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1940748
Aktenzeichen: EP07786597
Anmeldetag: 7. August 2007
Veröffentlichung: 3. Oktober 2012
Erteilung: 3. Oktober 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C04B37/00G03F7/20H01L21/67H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von