Herstellung einer Mikrostruktur durch Fliess-Lithographie und Polymerisation

EP1946186 Art B1 9. August 2017

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology, THE MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1946186
Aktenzeichen: EP06826664
Anmeldetag: 25. Oktober 2006
Veröffentlichung: 9. August 2017
Erteilung: 9. August 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Massachusetts Institute of Technology
THE MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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