Mehrstufige Photomasken-Ätzung mit Chlor zur Kontrolle der Homogenität
EP1947508
Art A1
23. Juli 2008
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1947508
- Aktenzeichen
- EP07122837
- Anmeldetag
- 11. Dezember 2007
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Kanzlei
Fish & Richardson P.C
München, Deutschland
Fish & Richardson wurde 1878 in Boston gegründet, eine der ältesten IP-Kanzleien der USA, vertrat einst Alexander Graham Bell und Thomas Edison. Münchner Standort direkt am Sitz von EPA, Deutschem Patent- und Markenamt sowie Bundespatentgericht, auch vor dem Einheitlichen Patentgericht.
8.213
Patente gesamt
3
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Peterreins, Frank
NoneMünchen