Zusammensetzung und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Gate-Abstandsschicht-Oxidmaterial
EP1949424
Art A2
30. Juli 2008
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1949424
- Aktenzeichen
- EP06816297
- Anmeldetag
- 4. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 30. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3205H01L21/336H01L21/8238
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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