Verfahren zur Herstellung eines Mikroelektromechanischen Bauteils und Mikroelektromechanisches Bauteil

EP1951611 Art B1 17. August 2016

Anmelder: Murata Electronics Oy, VTI TECHNOLOGIES OY 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1951611
Aktenzeichen
EP06808048
Anmeldetag
21. November 2006
Veröffentlichung
17. August 2016
Erteilung
17. August 2016
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00B81B7/02G01P15/18G01P3/00G01C19/56G01L9/00G01C25/00G01C17/38
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Murata Electronics Oy
VTI TECHNOLOGIES OY
Land
🇫🇮 Finnland

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Vertreten von
Westerholm, Carl Christian Helsinki, Finnland
164
Patente gesamt
28
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Hochbau & Gebäudetechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Verpackungs- & Fördertechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Software & Datenverarbeitung
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