System und Verfahren für eine Pumpe mit Reduziertem Formfaktor

EP1952022 Art B1 12. November 2014

Anmelder: Entegris, Inc., ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1952022
Aktenzeichen
EP06838070
Anmeldetag
20. November 2006
Veröffentlichung
12. November 2014
Erteilung
12. November 2014
Rechtsraum
EP
IPC
F04B43/02F04B43/04F04B13/00F04B17/03F04B23/06F04B25/00F04B49/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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