Vorrichtung zum Beobachten einer Probe mit einem Teilchenstrahl und einem optischen Mikroskop

EP1953792 Art B1 16. Mai 2012

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1953792
Aktenzeichen
EP08150931
Anmeldetag
1. Februar 2008
Veröffentlichung
16. Mai 2012
Erteilung
16. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/22H01J37/26G01N21/64
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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