System und Verfahren zur Positionssteuerung eines Mechanischen Kolbens in einer Pumpe
EP1954946
Art B1
5. November 2014
Anmelder: Entegris, Inc., ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1954946
- Aktenzeichen
- EP06838071
- Anmeldetag
- 20. November 2006
- Veröffentlichung
- 5. November 2014
- Erteilung
- 5. November 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04B49/06F04B13/00F04B17/03
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
ENTEGRIS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Meier, Christof
Stuttgart, Deutschland
44
Patente gesamt
14
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
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DREISS Patentanwälte PartG mbB
DREISS Patentanwälte PartG mbB · Stuttgart
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Dreiss
Dreiss · Stuttgart