System und Verfahren zur Positionssteuerung eines Mechanischen Kolbens in einer Pumpe

EP1954946 Art B1 5. November 2014

Anmelder: Entegris, Inc., ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1954946
Aktenzeichen
EP06838071
Anmeldetag
20. November 2006
Veröffentlichung
5. November 2014
Erteilung
5. November 2014
Rechtsraum
EP
IPC
F04B49/06F04B13/00F04B17/03
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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