Belichtungsapparat, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1962328 Art B1 16. Januar 2013

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1962328
Aktenzeichen: EP06832598
Anmeldetag: 14. November 2006
Veröffentlichung: 16. Januar 2013
Erteilung: 16. Januar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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