Optische Abbildungseinrichtung mit Bestimmung von Abbildungsfehlern

EP1963924 Art B1 29. April 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Kwan, Yim-Bun Patrick, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1963924
Aktenzeichen: EP06848832
Anmeldetag: 21. Dezember 2006
Veröffentlichung: 29. April 2015
Erteilung: 29. April 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Kwan, Yim-Bun Patrick
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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