Transmissionselektronenmikroskop mit Elektronenspektroskop

EP1965407 Art B1 18. Mai 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1965407
Aktenzeichen: EP08001366
Anmeldetag: 24. Januar 2008
Veröffentlichung: 18. Mai 2011
Erteilung: 18. Mai 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/295

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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