Formulierung zur Entfernung von Fotolacken, Ätzresten und BARC

EP1965418 Art A1 3. September 2008

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1965418
Aktenzeichen
EP07250875
Anmeldetag
2. März 2007
Veröffentlichung
3. September 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Air Products and Chemicals, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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