Plasmaverstärkte Atomlagen-Dampfabscheidung siliciumhaltiger Schichten
EP1967609
Art B1
15. Juli 2015
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1967609
- Aktenzeichen
- EP08151950
- Anmeldetag
- 26. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 15. Juli 2015
- Erteilung
- 15. Juli 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/30C23C16/50C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Stones, James Alexander
London, Großbritannien
133
Patente gesamt
24
Fachgebiete
9
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Beck Greener LLP
Beck Greener LLP · London
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