Bilderzeugungsverfahren und Elektronenmikroskop

EP1970936 Art A3 24. September 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1970936
Aktenzeichen: EP08004794
Anmeldetag: 14. März 2008
Veröffentlichung: 24. September 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/22H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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