Ae-Sensor und Verfahren zum Prüfen des Betriebszustands eines Ae-Sensors

EP1972908 Art A9 14. Januar 2009

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1972908
Aktenzeichen: EP06822974
Anmeldetag: 30. Oktober 2006
Veröffentlichung: 14. Januar 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G01H17/00G01N29/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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