Lithographische Vorrichtung und Verfahren
EP1975724
Art B1
11. Januar 2017
Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1975724
- Aktenzeichen
- EP08250946
- Anmeldetag
- 18. März 2008
- Veröffentlichung
- 11. Januar 2017
- Erteilung
- 11. Januar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands BV
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
van Os, Lodewijk Hubertus
NoneVeldhoven
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Raukema, Age
NoneVeldhoven
-
Roberts, Peter David
NoneManchester