Elektrostatische Klammer

EP1986228 Art B1 4. August 2010

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1986228
Aktenzeichen
EP08251479
Anmeldetag
22. April 2008
Veröffentlichung
4. August 2010
Erteilung
4. August 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H02N13/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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