Auf Adamantan Basierende Molekularglasfotoresists für die Sub-200-Nm-Lithographie

EP1991910 Art A1 19. November 2008

Anmelder: Cornell Research Foundation, Inc., Idemitsu Kosan Co., Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1991910
Aktenzeichen
EP06735162
Anmeldetag
16. Februar 2006
Veröffentlichung
19. November 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004G03F7/039C07C69/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Cornell Research Foundation, Inc.
Idemitsu Kosan Co., Ltd.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cornell Research Foundation

Der Anmelder ist die Technologietransfer-Organisation der Cornell University in den USA und verwaltet deren Patentportfolio. Die Anmeldungen konzentrieren sich auf Medizintechnik und Pharma sowie auf organische Chemie und Landwirtschaftstechnik. Der Aktivitätszeitraum reicht von 2000 bis 2011.

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🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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