Auf Adamantan Basierende Molekularglasfotoresists für die Sub-200-Nm-Lithographie

EP1991910 Art A1 19. November 2008

Anmelder: Cornell Research Foundation, Inc., Idemitsu Kosan Co., Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1991910
Aktenzeichen: EP06735162
Anmeldetag: 16. Februar 2006
Veröffentlichung: 19. November 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004G03F7/039C07C69/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cornell Research Foundation, Inc.
Idemitsu Kosan Co., Ltd.
Land: 🇺🇸 USA

🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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