Sputtertargetanordnung mit Modifizierter Entlüftungsrille
EP2002028
Art A2
17. Dezember 2008
Anmelder: PRAXAIR TECHNOLOGY, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2002028
- Aktenzeichen
- EP07754627
- Anmeldetag
- 3. April 2007
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Praxair Technology
US-amerikanisches Unternehmen im Bereich Industriegase, das Verfahren und Technologien zur Gasproduktion entwickelt, heute Teil des Linde-Konzerns.
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