Reflektierendes Optisches Element mit Exzentrischem Optischem Durchgang

EP2002301 Art A1 17. Dezember 2008

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2002301
Aktenzeichen: EP07723892
Anmeldetag: 2. April 2007
Veröffentlichung: 17. Dezember 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/08G03F7/20G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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