Verfahren zum Betreiben einer Anordnung mit Vakuumpumpe und Anordnung mit einer Vakuumpumpe

EP2003342 Art B1 21. November 2018

Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2003342
Aktenzeichen
EP08009333
Anmeldetag
21. Mai 2008
Veröffentlichung
21. November 2018
Erteilung
21. November 2018
Rechtsraum
EP
IPC
F16C32/04F04D19/04F04D27/02F04D29/058
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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