Strahlendetektor, Verfahren zur Herstellung des Strahlendetektors und lithografische Vorrichtung mit diesem Strahlendetektor
EP2009705
Art A3
5. Dezember 2012
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2009705
- Aktenzeichen
- EP08158479
- Anmeldetag
- 18. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 5. Dezember 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L31/103H01L31/0216H01L31/0224H01L31/118H01L31/18G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
van Os, Lodewijk Hubertus
Veldhoven, Niederlande
43
Patente gesamt
4
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Raukema, Age
NoneVeldhoven
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Ketelaars, Maarten F.J.M
NoneDen Haag