Chemische Fluidabscheidung für die Bildung von Metall- und Metallegierungsfilmen auf gemusterten und ungemusterten Substraten

EP2017369 Art A1 21. Januar 2009

Anmelder: University of Massachusetts 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2017369
Aktenzeichen: EP08019556
Anmeldetag: 2. November 2000
Veröffentlichung: 21. Januar 2009
Rechtsraum: EP
IPC: C23C18/00H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Massachusetts
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Massachusetts

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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