Prüfvorrichtung und Prüfverfahren

EP2017634 Art B1 22. September 2010

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2017634
Aktenzeichen: EP08012480
Anmeldetag: 10. Juli 2008
Veröffentlichung: 22. September 2010
Erteilung: 22. September 2010
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/319G01R31/3161G01R31/28G01R1/067

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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