Aberrationskorrektursystem

EP2020673 Art B1 15. Januar 2014

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2020673
Aktenzeichen
EP08252352
Anmeldetag
10. Juli 2008
Veröffentlichung
15. Januar 2014
Erteilung
15. Januar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/153H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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