Verdampfungs-/zuführungsvorrichtung von Material und Automatischer Druckregler zur Verwendung Darin
EP2034047
Art A1
11. März 2009
Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2034047
- Aktenzeichen
- EP07766935
- Anmeldetag
- 13. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 11. März 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fujikin Incorporated
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Kanzlei
Murgitroyd & Company
Murgitroyd wurde 1975 in Glasgow als Einzelpraxis gegründet, ging 2001 an die Londoner Börse und zählt zu Europas am schnellsten wachsenden IP-Kanzleien, mit Standorten von Großbritannien und Irland bis München, Mailand, Helsinki und dem Silicon Valley.
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