Flüssigkeitsausgabevorrichtung mit Variabler Flussrate
Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2034379
- Aktenzeichen
- EP07766936
- Anmeldetag
- 13. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 11. März 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fujikin Incorporated
- Land
- 🇯🇵 Japan
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Fachgebiete
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