Filmbildungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Barrierefilms
EP2039799
Art A1
25. März 2009
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2039799
- Aktenzeichen
- EP07741747
- Anmeldetag
- 17. April 2007
- Veröffentlichung
- 25. März 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23C16/452C23C16/455H01L21/285C23C16/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
München, Deutschland
Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
21.622
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1
Standorte
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Körber, Wolfhart
NoneMünchen