Plasmafokussiertes Ionenstrahlsystem mit mehreren Quellen

EP2041756 Art B1 13. Mai 2015

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2041756
Aktenzeichen
EP07872697
Anmeldetag
16. Juli 2007
Veröffentlichung
13. Mai 2015
Erteilung
13. Mai 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/08H01J37/30H01J37/305H01J37/317C23C14/00C23C14/22H01J37/32G21G5/00H01J27/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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