Faseroptischer Verstärker, Lichtquellenanordnung, Belichtungsanordnung, Objektuntersuchungsanordnung und Behandlungsanordnung

EP2045888 Art B1 21. November 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2045888
Aktenzeichen: EP07790443
Anmeldetag: 4. Juli 2007
Veröffentlichung: 21. November 2018
Erteilung: 21. November 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/10H01S3/067H01S3/13H01S3/23H01S3/00G03F7/20H01L21/027H01S3/06G02F1/37

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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