Verfahren und Vorrichtung zur Verdampfung und Zufuhr von Lösungsvorläufern für die Atomlagenabscheidung

EP2047009 Art B1 27. April 2016

Anmelder: Linde LLC, Linde, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2047009
Aktenzeichen
EP07796728
Anmeldetag
6. Juli 2007
Veröffentlichung
27. April 2016
Erteilung
27. April 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/448C23C16/455H01L21/67C23C16/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Linde LLC
Linde, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇩🇪 Linde

Deutscher Industriegasekonzern mit Wurzeln in München, gegründet 1879. Entwickelt und liefert technische Gase sowie Anlagen zur Gasverarbeitung für Industrie, Medizin und Energiewirtschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Christie, Gemma Louise Guildford, Großbritannien
136
Patente gesamt
24
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Maschinenelemente & Fluidtechnik Medizintechnik & Gesundheit Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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