Plasmaätzverfahren mit Endpunkterkennung und Plasmaätzvorrichtung

EP2048703 Art B1 4. April 2018

Anmelder: SPP Technologies Co., Ltd., Sumitomo Precision Products Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2048703
Aktenzeichen
EP07791442
Anmeldetag
27. Juli 2007
Veröffentlichung
4. April 2018
Erteilung
4. April 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065H05H1/46H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
SPP Technologies Co., Ltd.
Sumitomo Precision Products Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Precision Products

Sumitomo Precision Products ist ein japanischer Hersteller von Präzisionskomponenten mit Sitz in Amagasaki, der zur Sumitomo-Unternehmensgruppe gehört und unter anderem Fahrwerke für Flugzeuge sowie Wärmetauscher fertigt. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, Kühltechnik und Mess- und Prüftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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