Plasmaätzverfahren mit Endpunkterkennung und Plasmaätzvorrichtung
EP2048703
Art B1
4. April 2018
Anmelder: SPP Technologies Co., Ltd., Sumitomo Precision Products Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2048703
- Aktenzeichen
- EP07791442
- Anmeldetag
- 27. Juli 2007
- Veröffentlichung
- 4. April 2018
- Erteilung
- 4. April 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H05H1/46H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SPP Technologies Co., Ltd.
Sumitomo Precision Products Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Precision Products
Sumitomo Precision Products ist ein japanischer Hersteller von Präzisionskomponenten mit Sitz in Amagasaki, der zur Sumitomo-Unternehmensgruppe gehört und unter anderem Fahrwerke für Flugzeuge sowie Wärmetauscher fertigt. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, Kühltechnik und Mess- und Prüftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.
260 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Skuhra, Udo
München, Deutschland
573
Patente gesamt
31
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Isarpatent
Isarpatent · München