Verfahren zur Überwachung des Polierens und Poliervorrichtung

EP2051040 Art A3 26. Februar 2014

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2051040
Aktenzeichen
EP08018095
Anmeldetag
15. Oktober 2008
Veröffentlichung
26. Februar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
G01B7/06B24B37/04B24B49/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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