Filmherstellungsverfahren

EP2053642 Art A1 29. April 2009

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2053642
Aktenzeichen
EP07791665
Anmeldetag
31. Juli 2007
Veröffentlichung
29. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02C23C16/02H01L21/316H01L49/02H01G4/33
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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