Versatzkorrektur eines Probenhalters für eine euzentrische Drehung in einem Teilchenstrahlmikroskop

EP2056332 Art B1 19. Mai 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2056332
Aktenzeichen: EP08018848
Anmeldetag: 28. Oktober 2008
Veröffentlichung: 19. Mai 2010
Erteilung: 19. Mai 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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