Herstellung einer metallhaltigen Schicht über ALD- oder CVD-Prozesse

EP2058416 Art A3 4. November 2009

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2058416
Aktenzeichen: EP08019539
Anmeldetag: 7. November 2008
Veröffentlichung: 4. November 2009
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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