Autofokussierverfahren

EP2058835 Art A1 13. Mai 2009

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2058835
Aktenzeichen
EP07120434
Anmeldetag
12. November 2007
Veröffentlichung
13. Mai 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/21G01R31/307G02B21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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