Halbleiterbauelement mit MEMS und Verfahren zu seiner Herstellung

EP2060533 Art B1 4. Juni 2014

Anmelder: Hitachi, Ltd., Hitachi Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2060533
Aktenzeichen
EP08019868
Anmeldetag
13. November 2008
Veröffentlichung
4. Juni 2014
Erteilung
4. Juni 2014
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00H01L21/768H01L23/48
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Hitachi, Ltd.
Hitachi Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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